一、設(shè)備名稱：YX-Z6型   硅單晶定向粘接及晶向復(fù)檢儀   

二、設(shè)備概述：

用途：YX-Z6系列定向粘接設(shè)備，是一款集定向、粘接及復(fù)檢功能于一體的高精度、高自動(dòng)化程度的自動(dòng)定向粘接設(shè)備。是專門(mén)用來(lái)在切割前的定向、設(shè)備可根據(jù)用戶的需求，選擇粘接6-12英寸的粘接尺寸，并可兼容6.8英寸，人性的中英文操作界面，方便了用戶與設(shè)備的交互，同時(shí)操作簡(jiǎn)單，對(duì)于使用人員的技術(shù)要求相對(duì)較低。多處重點(diǎn)地區(qū)采用了伺服控制系統(tǒng)及絕對(duì)值編碼器的全閉環(huán)設(shè)計(jì)，保證了定向精度,儀器具有如下特點(diǎn)：
主要特點(diǎn)：
●高度一體化自動(dòng)化集成，提供工作效率及產(chǎn)能，降低人工參與產(chǎn)生的誤差。
●配合現(xiàn)代化智能工廠集成管理，節(jié)省人工成本的同時(shí)提高產(chǎn)量。
●采用閃爍探測(cè)器，接收效率高，最大線性計(jì)數(shù)≥5×105CPS，分辨率≤50%。
●弧形導(dǎo)軌設(shè)計(jì)，θ，2θ機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)聯(lián)動(dòng)，精度高，測(cè)試速度快，無(wú)需校機(jī)。
●采用臺(tái)達(dá)300系列中型PLC為控制核心，A2系列高精度伺服電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，設(shè)備整體自動(dòng)化程度高、故障率極低、抗干擾能力強(qiáng)、系統(tǒng)穩(wěn)定性好。
●全自動(dòng)測(cè)試，一鍵操作，涂膠后自動(dòng)完成定向粘接。
●采用進(jìn)口高分辨率絕對(duì)值編碼器，大大提高測(cè)量精度，規(guī)避了人工測(cè)量的讀數(shù)誤差，極大降低了操作者的勞動(dòng)強(qiáng)度和操作難度。
●具有峰值放大的特殊積分器，采用高壓模塊器件，提高檢測(cè)精度;
●光柵自動(dòng)控制關(guān)閘設(shè)計(jì)，只在必要時(shí)打開(kāi)，安全方便無(wú)隱患;
●全自動(dòng)激光定位notch,精確度高，重復(fù)性好。
●高精度壓力檢測(cè)傳感，實(shí)施壓力補(bǔ)償，恒壓控制粘接。
●全伺服自動(dòng)定位，位置控制，速度控制精確，效率高。
●數(shù)據(jù)可掃碼，可打印實(shí)現(xiàn)機(jī)臺(tái)每根晶棒自帶身份數(shù)據(jù)。
●測(cè)量數(shù)據(jù)可通過(guò)USB存儲(chǔ)到U盤(pán)等移動(dòng)存儲(chǔ)設(shè)備，轉(zhuǎn)化成Excel也可與DCS集成控制系統(tǒng)對(duì)接，實(shí)現(xiàn)大數(shù)據(jù)集中管理。

三、設(shè)備技術(shù)參數(shù)