用途:YX-6Z硅單晶棒粘接臺(tái)主要用于晶棒的粘接,與我公司生產(chǎn)的YX-5D;YX-6D\6DA晶體定向儀配套使用,主要用于晶棒定向計(jì)算后X與Y偏角棒的粘接。最后用于多線(xiàn)切割機(jī)配套使用,操作方便,粘接精度高。 結(jié)構(gòu):YX-6Z硅單晶棒粘接臺(tái)晶棒偏角回轉(zhuǎn)臺(tái),采用直讀特制編碼器和高精度數(shù)顯表,減少了機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)誤差,提高了測(cè)量精度。能夠粘接直徑4~12英寸,長(zhǎng)500㎜晶棒,可在一塊料板上粘接N個(gè)晶棒,雙軸編碼器分別有X與Y軸數(shù)顯表,采用國(guó)際通常方法,以度為顯示單位(0.001度),上述 X與Y 軸編碼器與高精度數(shù)顯表均采用德國(guó)進(jìn)口的產(chǎn)品,同時(shí)還配備了晶棒夾緊固定與升降裝置,配備了一塊稱(chēng)重?cái)?shù)顯表,用于顯示壓晶棒的重量,使晶棒與料板結(jié)合為最佳值。 主要參數(shù):
電 源 |
220V 50HZ |
功 率 |
0.2KV |
晶棒直徑 |
4~12英寸 |
晶棒長(zhǎng)度 |
500㎜ |
料板寬度 |
70、100㎜、150㎜ |
角度顯示 |
以度為單位、最小讀數(shù)0.001度 |
X定位板轉(zhuǎn)角 |
±15度(直讀) |
Y晶棒旋轉(zhuǎn)角 |
±90度(直讀) |
稱(chēng)重?cái)?shù)顯 |
1~300㎏ |
尺 寸 |
長(zhǎng)1100×寬700×高1600 |
重 量 |
500㎏ | |