YX-5A高精度藍(lán)寶石晶體定向儀：是在YX-2D6A定向儀基礎(chǔ)上升級(jí)產(chǎn)品，配置單色器,數(shù)字顯示為6位，最小讀數(shù)1″，精度±15″針對(duì)單晶硅、藍(lán)寶石、砷化稼等多種晶體設(shè)計(jì),主要用于晶圓片、晶棒的測(cè)量,操作方便，顯示器為外置式,樣品臺(tái)加裝承重軌道，屬于通用熱銷機(jī)型。
   標(biāo)準(zhǔn)配置如下：GA, GB測(cè)角儀
   1、一側(cè)GA測(cè)角儀能測(cè)晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片；111, 100, 等角度；能測(cè)晶棒參考面110；OF等角度。藍(lán)寶石A,C,R面等角度。
   2, 另一側(cè)GB專為晶棒設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)為寬130，長(zhǎng)300平托板,配2個(gè)可移動(dòng)尼龍V型槽晶棒托，能測(cè)Φ2---Φ6英寸晶圓片；能測(cè)晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 長(zhǎng)400晶棒 ；如：硅（111）（100）藍(lán)寶石C面等角度；第一個(gè)測(cè)2---3英寸端面，第二個(gè)測(cè)4---6英寸端面。

  主要參數(shù)：

項(xiàng) 目	參 數(shù)
晶棒直徑	2---6英寸、最大8寸
晶棒長(zhǎng)度	400 mm
樣品板面積	43寬×70高mm
衍射方式	前置 單色器,
定向精度	±15″
數(shù)顯方式	θ：度、分、秒；
數(shù)顯單位	6位顯示 ；最小讀數(shù)1″
顯示器	立式外置
技術(shù)指標(biāo)	符合YX-2參數(shù)。