用途:YX-5Z硅單晶棒粘接臺主要用于晶棒粘接,與我公司生產(chǎn)的YX-5D;YX-6D\6DA晶體定向儀及多線切割機配套使用,該儀器用于晶棒定向計算出X與Y偏角棒的粘接。測角儀采用直讀編碼器,減少了機械傳動誤差,提高了測量精度,X與Y角度編碼器與數(shù)顯儀表選用德國進口,操作方便,測量精度高。 結(jié)構(gòu):YX-5Z硅單晶棒粘接臺能夠粘直徑3~8英寸,長500㎜晶棒,可在同一塊料板上粘接N個晶棒,雙軸編碼器、分別有X與Y角度數(shù)顯表,采用國際通常方法,X與Y角以度為單位,最小讀數(shù)0.001度,X定位轉(zhuǎn)角為±15度,Y晶棒轉(zhuǎn)角±90度,并且有晶棒夾緊固定裝置,使之粘接后穩(wěn)定性好,誤差小等優(yōu)點。 主要參數(shù):
電 源 |
220V 50HZ |
功 率 |
0.2KV |
晶棒直徑 |
3~8英寸 |
晶棒長度 |
500㎜ |
料板寬度 |
70、100、150㎜ |
X定位轉(zhuǎn)角 |
±15度(直讀) |
Y晶棒轉(zhuǎn)角 |
±90度(直讀) |
角度顯示 |
以度為單位、最小讀數(shù)0.001度 |
尺 寸 |
長850×寬550×高140 |
重 量 |
120㎏ | |